01109naa#a2200217#i#4500001001500000003008300015005001700098011001400115100004100129102000700170200014200177210013900319215001000458608004500468675004400513700005400557700005800611700006200669700005600731856010400787RU\\bibl\53379http://icrtjournal.com/ru/nauka/bibcontroller/import/marc/article/53379?format=raw20240521010140.2##a2587-9936##a20220928b2022####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aИНТЕГРАЛЬНЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ВОЛНОВОДЫ  НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК Si3N4eЖурнальная статья1#aСевастопольcФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»d2022##a6 с.##aЖурнальная статья2local##aФотоэлектроника. 621.383#1aКулиничgИван Владимирович#1aСомогонянцgАлина Алексеевна#1aШестериковgЕвгений Викторович#1aМоховиковgДенис Максимович4#aicrtjournal.comuhttp://icrtjournal.com/ru/nauka/bibcontroller/import/marc/article/53379?format=raw