%0 Journal Article
%T Методика определения метрологических характеристик зондовой установки для измерения параметров рассеяния изделий СВЧ наноэлектроники на подложке
%A Савин, А..
%K векторный анализатор цепей, зондовая станция, измерения на подложке, линия передачи, верификация, эффективные параметры, сигматочечное преобразование
%J ИНФОКОММУНИКАЦИОННЫЕ И РАДИОЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
%D 2019
%N 2
%P 10
%I ФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»