@article{Торхов2019размерные,
author={Торхов, Н.. and Кривчук, А..},
title={Размерные эффекты в процессах имплантации тяжелых ионов в эпитаксиальные слои n-GaAs},
journal={ИНФОКОММУНИКАЦИОННЫЕ И РАДИОЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ},
publisher={ФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»},
year={2019},
pages={416-426},
volume={2},
issue={3},
}