%0 Journal Article
%T Размерные эффекты в процессах имплантации тяжелых ионов в эпитаксиальные слои n-GaAs
%A Торхов, Н..
%A Кривчук, А..
%K имплантация, тяжелые ионы, размерный эффект, арсенид галлия, гетероэпитаксиальные структуры
%J ИНФОКОММУНИКАЦИОННЫЕ И РАДИОЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
%D 2019
%N 2
%P 10
%I ФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»