TY  JOUR
TI  Размерные эффекты в процессах имплантации тяжелых ионов в эпитаксиальные слои n-GaAs
KW  имплантация
KW  тяжелые ионы
KW  размерный эффект
KW  арсенид галлия
KW  гетероэпитаксиальные структуры
JO  ИНФОКОММУНИКАЦИОННЫЕ И РАДИОЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
AU  Торхов, Н..
AU  Кривчук, А..
PY  2019
IS  2
PB  ФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»