@article{Кулинич2022интегральные,
author={Кулинич, И.В. and Сомогонянц, А.А. and Шестериков, Е.В. and Моховиков, Д.М.},
title={ИНТЕГРАЛЬНЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ВОЛНОВОДЫ  НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК Si3N4},
journal={ИНФОКОММУНИКАЦИОННЫЕ И РАДИОЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ},
publisher={ФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»},
year={2022},
pages={318-324},
volume={5},
issue={3},
}