%0 Journal Article
%T ИНТЕГРАЛЬНЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ВОЛНОВОДЫ  НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК Si3N4
%A Кулинич, И.В.
%A Сомогонянц, А.А.
%A Шестериков, Е.В.
%A Моховиков, Д.М.
%K фотонные интегральные схемы, фазовая решетка, нитрид кремния на изоляторе
%J ИНФОКОММУНИКАЦИОННЫЕ И РАДИОЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
%D 2022
%N 5
%P 6
%I ФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»