TY  JOUR
TI  ИНТЕГРАЛЬНЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ВОЛНОВОДЫ  НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК Si3N4
KW  фотонные интегральные схемы
KW  фазовая решетка
KW  нитрид кремния на изоляторе
JO  ИНФОКОММУНИКАЦИОННЫЕ И РАДИОЭЛЕКТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
AU  Кулинич, И.В.
AU  Сомогонянц, А.А.
AU  Шестериков, Е.В.
AU  Моховиков, Д.М.
PY  2022
IS  5
PB  ФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»