LDR 00961naa#a2200181#i#450#
001     RU\\bibl\52852
005     20240517070054.5
011 ## _a2587-9936
100 ## _a20190325b2019####ek#y0rusy0150####ca
101 0# _aRUS
102 ## _aRU
200 1# _aМетодика определения метрологических характеристик зондовой установки для измерения параметров рассеяния изделий СВЧ наноэлектроники на подложке
       _eЖурнальная статья
210 1# _aСевастополь
       _cФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»
       _d2019
215 ## _a10 с.
608 ## _aЖурнальная статья
       _2local
675 ## _aЮстировка, градуировка и поверка. 621.317.089.6
       _zRUS
700 #1 _aСавин
       _gАлександр Александрович 
856 4# _aicrtjournal.com
       _u