00961naa#a2200181#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046101000800087102000700095200031400102210013900416215001100555608004500566675008500611700006300696856002000759RU\\bibl\5285220240517091726.5##a2587-9936##a20190325b2019####ek#y0rusy0150####ca0#aRUS##aRU1#aМетодика определения метрологических характеристик зондовой установки для измерения параметров рассеяния изделий СВЧ наноэлектроники на подложкеeЖурнальная статья1#aСевастопольcФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»d2019##a10 с.##aЖурнальная статья2local##aЮстировка, градуировка и поверка. 621.317.089.6zRUS#1aСавинgАлександр Александрович 4#aicrtjournal.com