LDR 00857naa#a2200193#i#450#
001     RU\\bibl\52882
005     20240516032448.4
011 ## _a2587-9936
100 ## _a20190925b2019####ek#y0rusy0150####ca
101 0# _aRUS
102 ## _aRU
200 1# _aРазмерные эффекты в процессах имплантации тяжелых ионов в эпитаксиальные слои n-GaAs
       _eЖурнальная статья
210 1# _aСевастополь
       _cФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»
       _d2019
215 ## _a10 с.
608 ## _aЖурнальная статья
       _2local
675 ## _aфизические. 53.043
       _zRUS
700 #1 _aТорхов
       _gНиколай Анатольевич 
700 #1 _aКривчук
       _gАлександр Сергеевич 
856 4# _aicrtjournal.com
       _u