00857naa#a2200193#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046101000800087102000700095200019200102210013900294215001100433608004500444675003800489700005700527700005900584856002000643RU\\bibl\5288220240515180753.3##a2587-9936##a20190925b2019####ek#y0rusy0150####ca0#aRUS##aRU1#aРазмерные эффекты в процессах имплантации тяжелых ионов в эпитаксиальные слои n-GaAseЖурнальная статья1#aСевастопольcФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»d2019##a10 с.##aЖурнальная статья2local##aфизические. 53.043zRUS#1aТорховgНиколай Анатольевич #1aКривчукgАлександр Сергеевич 4#aicrtjournal.com