00857naa#a2200193#i#450# RU\\bibl\52882 20240516060617.4 2587-9936 20190925b2019####ek#y0rusy0150####ca RUS RU Размерные эффекты в процессах имплантации тяжелых ионов в эпитаксиальные слои n-GaAs Журнальная статья Севастополь ФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет» 2019 10 с. Журнальная статья local физические. 53.043 RUS Торхов Николай Анатольевич Кривчук Александр Сергеевич icrtjournal.com