LDR 00930naa#a2200205#i#450#
001     RU\\bibl\53379
005     20240516093547.4
011 ## _a2587-9936
100 ## _a20220928b2022####ek#y0rusy0150####ca
102 ## _aRU
200 1# _aИНТЕГРАЛЬНЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ВОЛНОВОДЫ  НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК Si3N4
       _eЖурнальная статья
210 1# _aСевастополь
       _cФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»
       _d2022
215 ## _a6 с.
608 ## _aЖурнальная статья
       _2local
675 ## _aФотоэлектроника. 621.383
       _z
700 #1 _aКулинич
       _gИван Владимирович
700 #1 _aСомогонянц
       _gАлина Алексеевна
700 #1 _aШестериков
       _gЕвгений Викторович
700 #1 _aМоховиков
       _gДенис Максимович
856 4# _aicrtjournal.com
       _u