00930naa#a2200205#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046102000700087200014200094210013900236215001000375608004500385675004400430700005400474700005800528700006200586700005600648856002000704RU\\bibl\5337920240516101820.4##a2587-9936##a20220928b2022####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aИНТЕГРАЛЬНЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ВОЛНОВОДЫ  НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК Si3N4eЖурнальная статья1#aСевастопольcФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет»d2022##a6 с.##aЖурнальная статья2local##aФотоэлектроника. 621.383#1aКулиничgИван Владимирович#1aСомогонянцgАлина Алексеевна#1aШестериковgЕвгений Викторович#1aМоховиковgДенис Максимович4#aicrtjournal.com