00930naa#a2200205#i#450# RU\\bibl\53379 20240516074503.4 2587-9936 20220928b2022####ek#y0rusy0150####ca RU ИНТЕГРАЛЬНЫЕ ОПТИЧЕСКИЕ ВОЛНОВОДЫ НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК Si3N4 Журнальная статья Севастополь ФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет» 2022 6 с. Журнальная статья local Фотоэлектроника. 621.383 Кулинич Иван Владимирович Сомогонянц Алина Алексеевна Шестериков Евгений Викторович Моховиков Денис Максимович icrtjournal.com