00938naa#a2200181#i#450# RU\\bibl\53544 20240517214956.5 2587-9936 20221021b2022####ek#y0rusy0150####ca RU Радиационно-стойкие СБИС СнК и ОЗУ — особенности проектирования по КМОП технологиям объемного кремния Журнальная статья Севастополь ФГАОУ ВО «Севастопольский государственный университет» 2022 21 с. Журнальная статья local Электрические полупроводниковые приборы. 621.382.2/.3 Герасимов Юрий Михайлович Петричкович Ярослав Ярославович icrtjournal.com